Matthew Goeckner

Hivatkozott rá

	Összes	2019 óta
Hivatkozások	3094	999
h-index	31	14
i10-index	66	20

220

110

165

1990199119921993199419951996199719981999200020012002200320042005200620072008200920102011201220132014201520162017201820192020202120222023202413 20 8 14 36 42 35 48 34 58 47 39 44 56 83 120 108 125 174 117 104 81 144 91 88 104 80 76 71 124 150 145 178 214 188

Nyilvános hozzáférés

Összes megtekintése

7 cikk

1 cikk

elérhető

nem érhető el

Finanszírozási megbízások alapján

Társszerzők

Sanket SantStaff engineer, Lam research,E-mail megerősítve itt: lamresearch.com
Eric JosephPrincipal Research Staff Member, IBM ResearchE-mail megerősítve itt: us.ibm.com
Thierry Dufour (Pr. assoc.)Sorbonne Université / IPP / CNRS / LPPE-mail megerősítve itt: sorbonne-universite.fr
Jeong Bong (JB) LeeProfessor and Department Chair of Electrical and Computer Engineering, Baylor UniversityE-mail megerősítve itt: baylor.edu
Seetharaman RamachandranThe University of Texas at Dallas, Lam ResearchE-mail megerősítve itt: lamresearch.com
Walter HuProfessor of The West China Hospital, Sichuan University, ChinaE-mail megerősítve itt: wchscu.cn
Mukesh Kumar KulsreshathDept. of Electrical and Electronics, Unversity of Bristol, BristolE-mail megerősítve itt: bristol.ac.uk
Zhehui Wang (王哲晖)Los Alamos National LaboratoryE-mail megerősítve itt: lanl.gov
Olivier AubryAssociate Pr - Maître de conférence HDR, GREMI (Université d'Orléans-CNRS UMR7344), Polytech OrléansE-mail megerősítve itt: univ-orleans.fr
W HitchonUniversity of WisconsinE-mail megerősítve itt: wisc.edu
John ConradFurman UniversityE-mail megerősítve itt: lexahedron.com
John PouloseApplied MaterialsE-mail megerősítve itt: amat.com
D.N. RuzicProfessor of Nuclear, Plasma and Radiological Engineering, University of Illiinois at Urbana-ChampaignE-mail megerősítve itt: illinois.edu
Eric KeiterSandia National LaboratoriesE-mail megerősítve itt: sandia.gov
Steven ShannonNorth Carolina State University, Department of Nuclear EngineeringE-mail megerősítve itt: ncsu.edu
Jean francois VeyanUniversity of texas at dallasE-mail megerősítve itt: utdallas.edu
Mark SpongErik Jonsson School of Engineering and Computer Science at the University of Texas at DallasE-mail megerősítve itt: utdallas.edu
Greg EarleProfessor of Electrical Engineering, Virginia TechE-mail megerősítve itt: vt.edu
Li TAO
Krutarth Trivedi

Követés

Matthew Goeckner

Prof, University of Texas at Dallas

E-mail megerősítve itt: utdallas.edu - Kezdőlap

Plasma Science Fluid modeling Material Processing Atomic and molecular spectroscopy


Cím Rendezés hivatkozások szerint Rendezés év szerint Rendezés cím szerint	Hivatkozott rá Hivatkozott rá	Év
Electron beam exciter for use in chemical analysis in processing systems JW Hosch, MJ Goeckner, M Whelan, AW Kueny, KC Harvey, ... US Patent 9,997,325, 2018	450	2018
Model of energetic electron transport in magnetron discharges TE Sheridan, MJ Goeckner, J Goree Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 8 (1 …, 1990	200	1990
Observation of two-temperature electrons in a sputtering magnetron plasma TE Sheridan, MJ Goeckner, J Goree J. Vac. Sci. Technol. A 9 (3), 688-690, 1991	139	1991
Monte Carlo simulation of ions in a magnetron plasma MJ Goeckner, JA Goree, TE Sheridan IEEE transactions on plasma science 19 (2), 301-308, 1991	123	1991
Dose monitor for plasma doping system RB Liebert, BO Pedersen, M Goeckner US Patent 6,020,592, 2000	105	2000
Measurements of ion velocity and density in the plasma sheath MJ Goeckner, J Goree, TE Sheridan Physics of Fluids B: Plasma Physics 4 (6), 1663-1670, 1992	104	1992
Hollow cathode for plasma doping system MJ Goeckner, Z Fang US Patent 6,182,604, 2001	83	2001
Laser‐induced fluorescence characterization of a multidipole filament plasma MJ Goeckner, J Goree, TE Sheridan Physics of Fluids B: Plasma Physics 3 (10), 2913-2921, 1991	73	1991
QDB: a new database of plasma chemistries and reactions J Tennyson, S Rahimi, C Hill, L Tse, A Vibhakar, D Akello-Egwel, ... Plasma Sources Science and Technology 26 (5), 055014, 2017	70	2017
Electron velocity distribution functions in a sputtering magnetron discharge for the direction TE Sheridan, MJ Goeckner, J Goree Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 16 (4 …, 1998	68	1998
Laser‐induced fluorescence measurement of plasma ion temperatures: Corrections for power saturation MJ Goeckner, J Goree Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 7 (3 …, 1989	68	1989
Method and apparatus for low voltage plasma doping using dual pulses MJ Goeckner, Z Fang US Patent 6,335,536, 2002	66	2002
Measurements of the presheath in an electron cyclotron resonance etching device JA Meyer, GH Kim, MJ Goeckner, N Hershkowitz Plasma Sources Science and Technology 1 (3), 147, 1992	66	1992
Method and apparatus for eliminating displacement current from current measurements in a plasma processing system MJ Goeckner, CE Van Wagoner US Patent 6,433,553, 2002	61	2002
Dose monitor for plasma doping system Z Fang, M Goeckner US Patent 6,528,805, 2003	58	2003
Collisional sheath dynamics TE Sheridan, MJ Goeckner Journal of applied physics 77 (10), 4967-4972, 1995	51	1995
Dose monitor for plasma doping system Z Fang, M Goeckner US Patent 6,300,643, 2001	49	2001
Deposition and patterning of diamondlike carbon as antiwear nanoimprint templates S Ramachandran, L Tao, TH Lee, S Sant, LJ Overzet, MJ Goeckner, ... Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer …, 2006	48	2006
Saturation broadening of laser‐induced fluorescence from plasma ions MJ Goeckner, J Goree, TE Sheridan Review of scientific instruments 64 (4), 996-1000, 1993	48	1993
Laser‐induced fluorescence characterization of ions in a magnetron plasma MJ Goeckner, J Goree, TE Sheridan Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 8 (6 …, 1990	46	1990

A rendszer jelenleg nem tudja elvégezni a műveletet. Próbálkozzon újra később.

Cikkek 1–20

Hivatkozások évente

Ismétlődő hivatkozások

Összevont hivatkozások

Társszerzők hozzáadásaTársszerzők

Követés

Hivatkozott rá

Társszerzők